Vahvli libisemismasin on põhiseade pooljuhtide tootmise, optilise komponentide tootmise ja muu kõrge - täppispinna töötlemise väljal. Selle lammutamise jõudlus sõltub valitud abrasiivide ja tööriista materjalide nõuetekohasest sobitamisest. Allpool on toodud selle seadme jaoks sobivate materjalide üksikasjalik kirjeldus:
I. Abrasiivsed tüübid
Abrasiivid on peamised söötmed, mis osalevad otseselt lõikamisel ja võimaldavad materjali eemaldamist.
Alumiiniumoksiid - põhinevad abrasiivid (al₂o₃)
Neil on kõrge kõvadus ja hea keemiline stabiilsus, muutes need mitmekülgsed abrasiivid. Sobib karedaks ja pool - metallmaterjalide, näiteks karastatud teras ja malmist. Vahvli liputamismasinate puhul kasutatakse töötlemisetappides sageli alumiiniumoksiidi abrasiive, mis nõuavad suurt pinna tasasust, kuid mis ei nõua lõplikku peegli viimistlust.
Karbiidi - põhinevad abrasiivid (nt räni karbiid (sic), boori karbiidi (b₄c))
Nendel abrasiividel on äärmiselt kõrge kõvadus ja tugev kulumiskindlus. Räni karbiidi kasutatakse peamiselt kõvade ja rabedate materjalide, näiteks klaasi, keraamika ja mitte - töötlemiseks; Boori karbiidi seevastu kasutatakse raskemate materjalide (näiteks tsementeeritud karbiidide ja kõva kroomkatte) lammutamiseks. Seda tüüpi abrasiivne võimaldab materjali eemaldamise kiirust.
Diamond - põhinevad abrasiivid
Looduse kõige raskema ainena on teemantradasid esimene valik super - kõvade materjalide töötlemiseks. Vahvli libisemismasinate töötlemata töötlemise etapis kasutatakse laialdaselt pooljuhtide vahvlite (nt räni vahvlite, räni karbiidi vahvlite), sünteetiliste vääriskivide, keraamika jms jaoks laialdaselt sümboliseerivaid abrasiive.
Muud tavalised abrasiivid
Ceriumoksiid (tegevjuht): kõrge - kvaliteetne poleerimisvahetus koos suurepärase keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) jõudlusega. See saavutab äärmiselt kõrge pinna viimistluse kerge keemilise toime ja mehaanilise hõõrdumise kombinatsiooni kaudu ning seda kasutatakse sageli ränivahverite ja klaasist substraatide lõplikuks poleerimiseks.
Ränidioksiid (Sio₂) kolloid: tavaliselt kasutatakse CMP protsessis ultra - räni, ränidioksiidi ja metallkihtide peene poleerimine (nt vaskühendused). Sellel on minimaalne eemaldamise kogus ja see tagab suurepärase pinnakvaliteedi.
Ii. Tööriista materjalid
Lülitamisriistad (tuntud ka kui poleerimisplaadid) on põhikomponendid, mis hoiavad toorikuid ja abrasiive ning edastavad liikumist. Nende materjalide valik mõjutab otseselt töödeldud pinna tasasust ja viimistlust.
Malmist lammutamise tööriistad
Suure materiaalse kõvaduse, kulumiskindluse ja tiheda struktuuriga malmist tööriistad manustavad hõlpsalt abrasiiviterasid ja võivad säilitada hea tasase. Need sobivad peamiselt metallmaterjalide, näiteks karastatud ja kihlvedudeta teraseosade ja malmist osade ladumiseks, ning on tavaline valik metallisubstraatide tasandamiseks vahvli sidumismasinates.
Messingist/tina lammutamise tööriistad
Nendel ladustamisvahenditel on suhteliselt pehme tekstuur ja neid kasutatakse sageli pehmete metallmaterjalide (nt alumiinium, vasesulamite) või padjade poleerimiseks mõeldud alusmaterjalina. Pehmemad lammutavad tööriistad võivad vältida täpsete toorikute pinna kriimustusi ja neid kasutatakse laialdaselt viimases poleerimisetapis.
Polümeeri sünteetiliste lammutamise tööriistad (poleerimispadjad)
Kaasaegsed vahvlid poleerimismasinad, eriti CMP -protsessis kasutatud, kasutavad tavaliselt polümeermaterjalidest valmistatud poleerimispadjasid, näiteks polüuretaan. Sellel materjalil on teatav elastsus, poorsus ja kulumiskindlus ning see suudab paremini säilitada ja vedada poleerimisvedelikku. See on põhielement globaalse tasapinnalise kasvu saavutamiseks.
Vahvli libisemismasina jõudluse maksimeerimiseks on ülioluline vankumismaterjalide sobiva kombinatsiooni valimine:
Töötlemata töötlemine (lammutamine): kõrge materjali eemaldamise kiiruse saavutamiseks on kõrge kõvadusega abrasiivid (nt teemant, boori karbiidi) sageli seotud kõvade lammutavate tööriistadega, näiteks malmist.
Viimistlus/poleerimine: Ultra - sileda pinna saavutamiseks tuleb peeneid ja pehmeid abrasiivid (nt tseeriumoksiid, ränidioksiid kolloid) siduda pehmete või sünteetiliste poleerimispadjadega.
Seetõttu suudab kõrge - jõudluse vahvli teisaldamismasin vastata täielikule - töötlemise vajadustele, alates töötlemata ladustamisest kuni ultra - täpsuse lihvimise kaudu abrasiivide paindliku konfiguratsiooni kaudu ja tööriistade paindliku konfiguratsiooni kaudu, muutes selle ideaalseks seadmeks kõrge-} press -koomiksi.
Oleme Hiina professionaalne tootja, kes on spetsialiseerunud vahvli hüppamisele poleerimismasinad. Meil on oma tehas, kus on suur varu - aktsiatooted, ja aktsepteeritakse ka kohandatud toodangut. Me meelitame madalate hindadega kliente ja kõrgeid - kvaliteetseid teenuseid. Tere tulemast küsima ja hankige pakkumiste nimekiri!
