Poleerimismasina ladumise rakendused
Lahendus- ja poleerimismasinad on kriitilised tööriistad täpse pinnatehnoloogia osas. Ultra {- lamedate pindade, tiheda paksuse tolerantside ja peene pinnaviimistluse saavutamiseks on need masinad, mis on loodud oluliseks rollis laias valikus kõrgetes - tehnikatööstustes. Allpool on - sügavus ülevaade nende peamistest rakendustest:
Pooljuhtide vahvli töötlemine
Lahendamine ja poleerimine on pooljuhtide substraadi ettevalmistamise peamised sammud. Enne epitaksiaalse kasvu või seadme valmistamist peavad räni vahvlid olema täiesti tasased ja ilma maapealsete kahjustusteta. Lülitamist kasutatakse saekahjustuste ja õigete paksuse variatsioonide eemaldamiseks, samas kui poleerimine loob defekti - vaba peegli pinna kõrge - saagikuse tootmiseks.
Tavaliselt töödeldud materjalid:
- Räni (Si)
- Gallium arseniid (Gaas)
- Ränikarbiid (sic)
- Safiir
Rakendused hõlmavad:
- Ic valmistamine
- MEMS -seadme substraadid
- Toiteelektroonika
Optiline komponent valmistamine
Optilistes süsteemides mõjutavad pinna täpsus ja viimistlus otseselt valguse edastamist ja pildikvaliteeti. Lülitamis- ja poleerimismasinaid kasutatakse ultra - lamedate läätsede, prismade, peeglite ja akende tootmiseks. Need komponendid peavad vastama rangetele pinnakareduse nõuetele (sageli alla RA 5 nm) ja hoidma tihedat paralleelsust ja tasasust.
Tavalised optilised materjalid:
- Sulatatud ränidioksiid
- BK7 klaas
- Tsingi seleniid (Znse)
- Kaltsiumfluoriid (kohvik)
Tööstusharud:
- Laseroptika
- Infrapuna- ja ultraviolettkujundus
- Kosmose navigeerimissüsteemid
- Meditsiinilise pildiseadmed
Kvarts ja piesoelektriseadmete tootmine
Kvarts ja muud piesoelektrilised materjalid vajavad sageduse stabiilsuse tagamiseks kõrget - täpsuse paksuse kontrolli ja madala pinnapinge. Lükkamismasinaid kasutatakse ja õhukeste kristallnõude kujundamiseks, samas kui poleerimine tagab elektroodide sadestumise ja pakendamise sujuva pinna.
Tüüpilised rakendused:
- Ostsillaatori kristallid
- Pinna akustiliste lainete (sae) seadmed
- Rõhuandurid
- Ultraheli muundurid
Metalliline ja keraamiline komponentide viimistlus
Kõvametallid ja täiustatud keraamika -, näiteks volframkarbiid, alumiiniumoksiid ja tsirkoonia - nõuavad sageli täpse mõõtmete saavutamiseks ja paranenud kulumiskindluse saavutamiseks sageli lammutamist ja poleerimist. Neid pindu kasutatakse tavaliselt kõrgel - täppismehaanilistes komplektides ja kuluvad - kõhuli keskkonnas.
Näited hõlmavad:
- Mehaanilised tihendid
- Täpsete gabariidid
- Klapi komponendid
- Kosmoseturbiini labad
LED ja ühendi pooljuhtide substraadid
LED -i ja optoelektrooniliste seadmete tootmisel kasutatavate substraatide vedeldamiseks ja tasapinnalisteks substraatide vedeldamiseks ja tasapinnaliseks muutmiseks on hädavajalikud. Materjalid nagu Sapphire, GAN ja INP peavad vastama rangetele ja paralleelsuse standarditele, et tagada hea epitaksiaalse kihi kasv.
Peamised rakendused:
- Sinised ja valged LED -substraadid
- Fotooni- ja laserdioodi vahvlid
- Optilised andurid
Klaasist ja kõva kristalli töötlemine
Kõrge - lõpp -kellaklaas, nutitelefoni katted ja spetsialiseeritud optilised filtrid hõlmavad sageli raskete materjalide, näiteks korundi (safhire), gorilla klaasi või ultra - õhukeste klaaslehtede poleerimist. Lahendus- ja poleerimismasinad pakuvad juhtimist, mis on vajalik nii selguse kui ka mõõtmete täpsuse säilitamiseks.
Teadusuuringud ja materjaliteadus
Laboratooriumides on proovide ettevalmistamine mikroskoopiliseks analüüsiks, pinna iseloomustamiseks ja rikkeanalüüsiks hädavajalikud. Pinna järjepidev kvaliteet on täpse SEM-, TEM- või AFM -i tulemuste jaoks ülioluline.
Kasutusjuhtumid hõlmavad järgmist:
- Metallograafiline proovi ettevalmistamine
- Õhuke kile substraadi viimistlus
- Rist - sektsioon mikroskoopia poleerimine