Täpsuse nurgakivi: vahvlite lappimis- ja poleerimisseadmete ennetava hoolduse juhend
Väga nõudlikus pooljuhtide tootmise maailmas on lappimis- ja poleerimisprotsessid kriitilise tähtsusega, et saavutada tänapäevaste integraallülituste jaoks vajalik veatu pinnatäius. Vahvlite lappimis- ja poleerimisseadmed töötavad äärmise täpsusega, toimides abrasiivsete suspensioonide, kõrge rõhu ja õrnade materjalidega. Kõik kõrvalekalded jõudluses võivad põhjustada katastroofilist saagikadu kriimustuste, kihistumise või ebaühtlase paksuse tõttu.
Kõige võimsam tööriist ühtlase kvaliteedi tagamiseks, tööaja maksimeerimiseks ja kapitaliinvesteeringute kaitsmiseks ei ole keerukas uuendus, vaid rangelt teostatudEnnetava hoolduse (PM) programm. Selles artiklis kirjeldatakse selle tundliku seadme PM-i kontrollnimekirja olulisi komponente.
Ennetamise filosoofia
Reaktiivne hooldus-probleemide lahendamine pärast nende ilmnemist-on selliste masinate jaoks kõige kulukam viis. PM on ennetav strateegia, mille eesmärk on:
Ootamatu seisaku välistamine:Tuvastage ja lahendage probleemid enne, kui need põhjustavad masina rikke.
Tagada protsessi järjepidevus:Säilitage korduvate tulemuste saamiseks vajalikud täpsed mehaanilised ja keemilised tingimused.
Seadme eluea pikendamine:Vähendage kriitiliste komponentide kulumist.
Suurendage ohutust:Vähendage kemikaalide käitlemise,{0}}kõrgsurvesüsteemide ja liikuvate osadega seotud riske.
Planeeritud ajavahemike järel (iga päev, kord nädalas, kuus) tuleks läbi viia põhjalik PM kontrollnimekiri, mis sisaldab järgmisi põhivaldkondi.
Vahvlite lappimis- ja poleerimisseadmete ennetava hoolduse kontrollnimekiri
I. Igapäevased kontrollid (operaatori{1}}tase)
Need on kiired visuaalsed ja töökontrollid, mis tuleb läbi viia iga vahetuse alguses või lõpus.
1. Visuaalne kontroll:
Kontrollige, kas pumpade, torude ja ühenduste ümber pole nähtavaid vedelikulekkeid (vesi, läga, kemikaalid).
Kontrollige poleerimisplaati ja kandurit liigse kulumise, pragude või jääkide kogunemise suhtes.
Veenduge, et seadme ümbrus oleks puhas ja prahist vaba.
2. Läga süsteem:
Veenduge, et läga ja kemikaalide etteandepaakide tase oleks piisav.
Vajadusel loksutage lägapaake, et vältida settimist.
Kontrollige läga- ja läga väljastusvoolikuid, et näha, ega mullid, ummistused või õhumulle pole.
3. Põhifunktsioonid:
Tehke proovisõit ilma vahvlita, et veenduda, et kõik teljed liiguvad sujuvalt ja vaikselt.
Kuulake mootorite, pumpade või laagrite ebatavalisi helisid.
Kontrollige Kontrollige, et hädaseiskamised ja turvalukud toimiksid.
II. Iganädalane / kahe{1}}nädalane kontroll
Need ülesanded hõlmavad üksikasjalikumat puhastamist ja kontrolli, et vältida jõudluse järkjärgulist halvenemist.
1. Sügavpuhastus:
Demonteerida ja puhastada:Puhas:Eemaldage poleerimispadjad (kui pole vahetatud), kandurid ja kinnitusrõngad.
Puhastusplaat:Puhastage poleerimisplaadi pind põhjalikult, et eemaldada sissetunginud osakesed ja tõrksad jäägid.
Puhastage lägapihustid:Ühtlase ja ühtlase voolu tagamiseks eemaldage ummistused ja loputage läga väljastusdüüsid.
2. Mehaanilise süsteemi kontroll:
Kontrollige ajamirihmasid:Kontrollige rihmade pinget, kulumist ja klaasimist. Reguleerige või asendage vastavalt vajadusele.
Määrimine:Kontrollige määratud laagrite ja juhtsiinide määrimise taset. Täitke heakskiidetud määrdeaineid.
Vedaja kile ülevaatus:Kontrollige kandekile või tugimaterjali seisukorda ja asendage see, kui see on kulunud.
3. Vee- ja keemiasüsteemid:
Puhtuse ja rõhu säilitamiseks kontrollige ja puhastage veefiltreid (DI/RO).
Kontrollige kemikaalide torusid ja ventiile korrosiooni või lekke suhtes.
III. Igakuised / kvartalikontrollid
Need on ulatuslikumad kontrollid, mis nõuavad sageli koolitatud tehnikut, et hinnata süsteemi pikaajalist{0}}seisundit.
1. Täiustatud mehaaniline ülevaatus:
Laagrite ja spindli tervis:Kontrollige põhivõlli ja kandepea laagrite lõtku või karedust. Jälgige mootori voolutarve anomaaliate suhtes.
Tasasuse mõõtmine:Kasutage poleerimisplaadi tasasuse kontrollimiseks graniidist tasapinnalist ja kaelmõõturit või interferomeetrit. Kordus-, kui spetsifikatsioonist väljas.
Surve ja jõu{0}}kalibreerimine:Kontrollige rakendatud rõhkude täpsust kalibreeritud manomeetri abil.
2. Juhtimis- ja elektrisüsteemid:
Anduri kinnitus:Veenduge, et asendiandurid, läheduslülitid ja temperatuuriandurid töötaksid õigesti.
Elektrikapp:Kontrollige tolmu kogunemist ja puhastage kapi jahutusventilaatorite filtreid.
Kontrollige klemmiühenduste tihedust.
3. Vedelikusüsteemi terviklikkus:
Tehke kõigi pumpade (pulber-, kemikaali-, äravoolupumpade) töö ja tihendi terviklikkuse põhjalik kontroll.
Kontrollige kogu prügi äravoolusüsteemi ummistuste või piirangute suhtes.
Dokumentatsioon: viimane, kriitiline samm
Kontrollnimekiri on tõhus ainult siis, kui see on dokumenteeritud. Iga sooritatud ülesande kohta tuleb registreerida:
Kuupäev ja kellaaeghooldusest.
Tehniku nimikes töö tegi.
Esialgne seisukordkomponendist.
Võetud meetmed(nt "puhastatud", "kohandatud", "vahetatud").
Kasutatud osad(koos osanumbritega laoseisu jälgimiseks).
Lõplik kinnitaminekinnitades, et seadmed on{0}}läbinud hooldustestid.
See logi loob väärtusliku ajaloo korduvate probleemide tõrkeotsinguks ja tulevaste kapitalikulude planeerimiseks.
Järeldus
Pooljuhtide valmistamisel, kus nanomeetri-skaala puudused võivad muuta vahvli kasutuks, on veamäär praktiliselt null. Lappimis- ja poleerimisseadmete distsiplineeritud ja hästi dokumenteeritud ennetav hooldusrežiim-ei ole pelgalt soovitus,-see on põhinõue, mis on põhinõue töökvaliteedile. Vahvli eest hoolitseva masina eest süstemaatiliselt hoolitsedes tagavad tootjad, et tootjad kaitsevad oma toodete kvaliteeti, optimeerivad oma tootmisliini ja kindlustavad investeeringutasuvuse andestamatult konkurentsivõimelises tööstuses.
